디스플레이

저진공/고진공 대면적 물류 장비
  • 대면적 진공 물류 설비 : 2G ~ 10G
  • 다양한 진공 영역 : 1X10-3 torr ~ 1X10 torr, N2 atm
  • Transfer chamber, 1단/2단 Loadlock,
    Passage Chamber (Vision Option)
  • Customizing Design
Mask/Glass Buffer 장비
  • OLED Buffer 물류 설비 : ~6G
  • 고진공 진공 영역 : ~ 1X10-6torr
  • 2~20단 Glass Buffer chamber
  • 2~10단 Mask Buffer chamber
  • Customizing Design
Oven/Cooling 열 처리 장비
  • 대기압 Oven Chamber / Cooling Buffer
  • HPCP
  • 4~ 12단 Chamber
  • Easy maintenance
  • N2/CDA Circulation/exhaust Chamber
  • Customizing Design