제품소개

특허

“ JUSTEM LPM 특허 ”

특허 명 : 웨이퍼 용기의 가스공급장치 (APPARATUS FOR SUPPLYING GAS FOR WAFER CONTAINER)
출원번호 : 10-2017-0072609

특허 요약 :
본 발명은 웨이퍼를 수납하여 이송하 는 웨이퍼 용기에 퍼지가스를 투입하 는 웨이퍼 용기의 가스공급장치에 관 한 것이다. 웨이퍼 용기의 가스공급장 치는, 웨이퍼 용기가 안착 되는 스테이 지부; 웨이퍼 용기에 형성된 가스유입 구 및 가스유출구의 위치에 대응하도 록 배치되며, 스테이지부에 결합되는 하우징과, 하우징 내에서 승하강하도 록 삽입되고 내부에 퍼지가스가 출입 하는 유로가 형성된 노즐을 포함
하는 가스출입부; 노즐과 연결된 상태에 서 승하강되며, 노즐을 상승시키도록 상승 구동력을 제공하는 제1 구동부; 제1 구동부를 탄지하여 제1 구동부가 상승하는 방향으로 탄성력을 제공하는 제2 구동부; 를 포함한다. 이에 의해, 제1, 제2 구동부를 구비하여 노즐이 상승할 수 있는 충분한 구동력을 제공 함으로써, 노즐 상부로부터웨이퍼 용 기의 탈거 시 노즐이 원활하게 상승하 여 퍼지 가스의 낭비를 방지할 수있고, 웨이퍼 처리 공정의 생산성을 향상시 킬 수 있다.
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