현재에 머무르지 않고 진보적인 혁신을 이루면서
과감한 도전과 기술 발전으로 새로운 시스템을 구현합니다.
Introduction
EFEM 내부 수분 기인 불량 제어 목적으로 EFEM 내부에 제습 공기를 제공하여 저습도를 구현하는 제품이다.
Technology
열교환기 적용 전력 감축 기술
PCW 적용 Room Temp. 유지 기술
다양한 방식 공급 라인 구성
순환, 비순환 라인
직하 방식, 측면 공급, 후면 공급
자동 습도 제어 기술
광범위한 습도 조정 가능 (5~45%)
진동 방진 파트 적용으로 진동 제어 기술 확보
Specification
습도 제어
순환형 EFEM 내부 습도 ≤ 5%, 온도 ≤ 40℃
비순환형 EFEM 내부 습도 ≤ 8%, 온도 ≤ 40℃
소비 전력 : 11 Kw (Max. 14 kW)
