Introduction
EFEM 유입에 의해 상승되는 FOUP 내부 습도를 1 ~ 5% 로 제어 하는 기류 형성 장치
Technology
JFS U5
EFEM 내부 45% 습도 공기를 운영하여, FOUP 내부 습도 5% 이하 제어
JFS U1
외부 저습도 기체(CDA, N2) 를 투입하여, FOUP 내부 습도 1% 제어
수직 층류 형성 기술 (Laminar Flow)
Particle Free
Specification
JFS U5
410 (L) x 106 (D) x 201 (H) mm/port
소비전력 200W/port
JFS U1
384 (L) x73.5 (D) x 77 (H) mm/port
소비전력 50W/port
CDA 250 LPM/port
