N2 Purge Load Port
Introduction
FOUP 내부 습도 및 Contamination 억제를 목적으로 FOUP 내부에 N2 Purge가 가능한 기능을 구비한 Load-Port
Technology
MFC Real Time Flow Control
N2 Nozzle Cylinder Up/Down
Leak Free Nozzle Purge System
FOUP Humidity Status Real Time Monitor
Upper Stream SECS/GEM Software 적용
User Interface Recipe Control
O2 Detection Safety Interlock
Easy Retrofit Sequence
Specification
3 in 1 / 1 in 1 FOUP N2 Purge
1 & 2 MFC (100LPM/200LPM)
Control Box or Load Port Built in N2 Control System
FOUP Type 감지 센서 적용.(Option)
N2 Inlet Filter : 0.0025um
N2 Inlet Leak Detection : Pressure Sensor
Exhaust Pressure Detection : Pressure Sensor
PN2 Tube Material : SUS316-EP, 폴리오레핀
Facility N2 connection : Bottom of Load Port
N2 BIP(Built In Purge)
Introduction
Diffusion Vertical Batch System에서 FOUP 에 N2 FOUP Purge 기능을 적용한 System.
Technology
Leak Free Nozzle Purge System
Upper Stream SECS/GEM Software 적용
User Interface Recipe Control(PC Software)
Justem Electrical CPU & Logic Program
Easy Retrofit Sequence
Specification
10H, 14CH, 16CH Built In Purge System
Main Power : AC208V / 110V, 1Φ / 3A(50/60Hz)
Utility : PN2 (1/2” Swagelok, 500~750 kPa)
EXHAUST (3/4”, 2EA -100kPa, Flow > 320 LPM)
FOUP Detection : Placement Sensor
Leak Detection : Differential Pressure Sensor
N2 Inlet Filter : 0.0025um
N2 Flow Detection : Flow Meter
N2 BIP(Built In Purge)
Introduction
N2 Purge Nozzle + Buffer Heating에 의한 온/습도 관리 Buffer
EFEM 측/후면에 장착되며 Open형 Buffer 내부에 저장된 각각의 Wafer에 N2 purge를 실시함과 동시에, Buffer Heating으로 Buffer 내부 온/습도분위기를 조절/유지하여 주는 모듈
Technology
간결한 Set-up
EFEM 측/후면의 Door 제거 후, 도킹 및 Leveling
안정적인 습도관리
특화 N2 Purge Nozzle에 의한 이상적인 습도 관리
Buffer Condition Monitoring
기울기 / 각종 센서들에 의한 Buffer Condition 상시 Monitoring
효율적인 Fume 제거
2-way Valve-Box의 적용으로 효율적인 Exhaust 성능 확보
Specification
유지습도 : ≤ 5% (Control 가능)
Body Size : 600mm x 600mm x 1550mm (50단 기준)
Material : SUS , SS41
Weight : 105Kg
N2 소모량 : 615 LPM
