대면적 진공 건조 장치(HVCD)
Introduction
대면적 디스플레이용 유기물 진공 건조 장치
Technology
우수한 온도 균일도 : ±3℃ (10.5G 기판)
세계 최고 건조 균일도 : ≤ 10% (10.5G 기판)
양산 운영을 위한 적층 디자인 확보
균일 진공도 형성을 위한 배기 시스템
Specification
Layout : 4260X4890X3085 (10.5G)
Base Pressure : 5X 10-5 torr
Pumping Speed : <2min (@7.5 X 10-5 torr)
진공물류장비
Introduction
LCD/OLED 공정 전,후의 진공 상태에서 건조,이송,적재 하는 장치이다.
Technology
Volume 최소화.
Sensor Dual Type 적용하여 안전성 확보.
Chamber 내부 CCTV 적용하여 실시간 확인.
O-ring Groove 형상 최적화 하여, Metal 갈림 방지 적용.
PM Chamber 보다 높은 압력 유지 하여 물류장비로 이물 유입 방지.
공정가스 유입 확인용 Gas Detector 적용.
Specification
진공도 : ≤ 5.0 x 10-7Torr (TBD)
재질, 두께 : 사양에 따라 (TBD)
Sensor : Sample , Fork , Position 감지 적용
Gauge : ATM, Full Range, High, Middle Vacuum Gauge
Sample Type : Face Down, Face UP
후처리 : SBB, Buffing , E.P , Anodizing
Tack Time : 50sec
Lid open : Auto Lid , Crain
Vent : CDA, N2 (Slow, Fast)
응력, 변형률 : 215Mpa , 5mm 이하
Purifier
Introduction
LCD/OLED N2 Chamber의 순환식 가스정제기로 산소와 수분을 관리
Technology
Size 최소화.
기존 Purifier 대비 정화용량 UP.(약 1.5배)
Specification
용량 : 5m³ ~ 100m³
PPM : ≤ 1ppm (Oxygen / Moisture)
Type : Touch Panel / Ethernet I.O
적용장비 : LCD, OLED TM, Buffer, Oven, etc
VIS (Vacuum Ionizing Source)
Introduction
고 진공용(진공도 불변) 실시간 제전 장치
OLED 제조 공정에서 Panel 이송 및 Align/Masking 반복 기구적 접촉 기인 발생
정전기 실시간 제전
Technology
Compact Size : 별도의 개조 없이 View Port 개조로 장착 가능
진공도 불변 : 별도가스 미 사용(Chamber 잔존 가스 이온화)
Damage Free : 빛과 열 미 발생(OLED Damage Free)
높은 안정성 및 내구성 확보 : 빛과 열 미 발생
Specification
운영 진공도 : 10E-3 ~ 1.0E-5(Pa)
Size : Ø165, H:265
재질 : SUS , SS41
무게 : 7Kg
사용전압 : DC 4kV , 0.1mA (이내)
