Introduction
PECVD 공정에서의 Wafer 이송 및 저장 목적의 Graphite Frame
Technology
Wafer 파손 및 불량률 최소화
RF전극 type 적용과 고순도 Graphite 사용으로 안전성 극대화
User Customizing
기성 Size 이외의 맞춤형 Graphite Boat 대응 가능
Specification
Wafer Size : 6” (Customizing)
Body Size : 280mm x 600mm x 2850mm (Max.)
Material : Graphite (고순도) + Ceramic
Weight : 28Kg
