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사업소개

플라즈마

Introduction

기존 고온 젯 Plasma를 대체 할 수 있는 기술로 고온의 플라즈마에 의해 발생하는 열 손상을 최소화하여 제품 불량을 방지할 수 있음. 또한 열에 취약한 기판 및 부품의 표면활성화에 필수적인 Plasma cleaner.

Technology

  • 우수한 세정력 및 높은 생산능력 및 유지비용

  • 국내 주요 업체로부터 검증된 사업, 핵심부품의 수명은 타사 제품보다 우수함.

  • 공기를 사용하여 인체에 적용이 가능한 플라즈마를 발생시킬 수 있는 특허 보유

  • 높은 공급압력에서도 파티클이 비산하지 않으며, 국내 업체의 제품을 대체하고 있음.

Specification

  • 고객의 요구 사항을 적용하여 제작할 수 있음.

  • 특수 공정용 플라즈마 제작 가능

  • OES, O3을 이용하여 Plasma의 상태를 모니터링 할 수 있음.

  • Jet Plasma를 확장시킬 수 있는 회사는 세계적으로 2곳임.