<2024-07-08> 저스템(대표: 임영진)이 미국 아이다호주의 보이시(Boise)에 있는 마이크론 기술혁신센터(연구개발 Fab)에서 지난 6월말 N2LPM(Lord Port Module) 장비평가를 성공적으로 마쳐 내년도 수출전망을 밝게 했다.

저스템이 이번에 평가받은 N2 LPM은 반도체 공정 중 웨이퍼를 보관하고 이동하는 FOUP의내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율을 향상시키는 장비다. 현재 저스템이 세계시장의 80퍼센트 이상을 점유하고 있는 것으로 추정된다.

북미지역에서 유일하게D램을 생산하는 마이크론은 아이다호주 보이시에 본사와 기술혁신센터 (연구개발센터)를 두고 2025년 공장가동을 목표로 축구장 10개규모에 해당하는 생산라인을 건설 중에 있다. 완공 후에는 첨단 D램과 HBM을 생산할 것으로 예상되며 현재 공정에 적용할 각종 장비를테스트중인 것으로 알려졌다.

저스템은 이미 2019년부터마이크론의 글로벌 생산라인인 일본, 대만, 싱가폴 등 에 N2 LPM을 공급하며 기술력과 신뢰성을 입증했다. 현재 일본과 대만HBM라인에도 이 장비가 적용되고 있어 이번 평가는 향후 보이시의 새로운 라인에 적용을 위한 최종 검토차원으로판단된다고 회사는 밝혔다.

저스템 CTO 김용진사장은 ‘ 2025년 이후에는 보이시공장이 주요 생산라인이 될 것이므로 현지에서 테스트를 성공적으로마친 만큼, 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것으로 보인다’고자신하며 또한 ‘HBM 제조경쟁이 치열한 상황에서 후공정 못지 않게 수율제고를 위한 필수장비로서 N2 LPM의 역할이 더해질 것으로 본다’고 말했다.

저스템은 수주 이전 2년여라는 장기간의 양산평가과정을 거치며 JFS의 효용성과 완성도 등 제품의 우수성과 강점을 검증받은 바 있다.

양산평가 이전에 저스템은 이미 3년여의 기술개발과정을 거쳤다.  FOUP내 습도를 상시적으로 제어하도록 독자적으로 개발한 수직층류(Laminar flow)제어기술을 적용해 효과를 최적화했고

나아가 기존 EFEM(Equipment Front End Module) 장비에 추가적인 장착만으로도 습도제어와 수율제고의 문제가 해결될 수 있도록 설계해 가성비 높은 제품을 구현했다. 

수직층류 제어기술은 지난 1월에 열린 세미콘 전시회에서도 국내외업체들의 큰 관심을 끌었던 솔루션이다. 

저스템 임영진 대표는 ‘‘습도제어 솔루션의 최강자 저스템이 공급하는 JFS가 1 세대 제품인 N2 PURGE 솔루션의 세계시장 점유율과 수익을 상회하는 대표적인 상품으로 될 것으로 기대한다’ 며 

‘앞으로 본격적인 횡전개가 기대되는 만큼 JFS의 추가수주와 시장확대를 위해 글로벌 시장을 지속적으로 공략할 것 ‘이라고 말했다.